Optische coater voor ionenbundelondersteunde afzetting en verdamping
Beschrijving
Dit is hoogwaardige apparatuur voor de voorbereiding van opto-elektronische apparaten met ultrahoge precisie. De focus ligt op hoogwaardige optische coating en heeft een extreem lage verstrooiingswaarde en defectdichtheid. Geschikt voor uiterst nauwkeurige coatingproductie in veeleisende toepassingen zoals laser, optische communicatie, ruimtevaart, biomedische sector, auto-optica, MEMS-sensoren en pan-halfgeleiders.
Sollicitatie
Blauw glas en wit glas IR-CUT, blauw glas en wit glas AR, harslens AR, periscoop-rechthoekprisma, enz.
Functies
- Standaardmachine voor massaproductie
- Realtime onlinemonitor
- Volledig autonome optische besturing
- Open procesontwerp
- RISE RF-ionenbron: de ionenbundelstroom is nauwkeurig en regelbaar, met een lange continue werktijd, geschikt voor verschillende werkgassen en vrij van vervuiling van de filmlaag.
- Unieke plasmabron: radiofrequentie-aandrijving, werking zonder verbruiksartikelen, levert zuivere zuurstofionen en zorgt voor uitstekende spectrale indicatoren in specifieke banden.
- Lichtgestuurd: lichtgestuurde controlenauwkeurigheid voor filmvorming: 0.1-0,3%, met een unieke structuur en efficiënt optisch padontwerp, real-time verzameling van ultrasnelle spectrale gegevens, en onafhankelijk ontwikkeld intelligent lichtgestuurd kernalgoritme.
- Innovatief besturingssysteem: open modulaire systeemarchitectuur, een slim besturingssysteem gebaseerd op ARM, vriendelijke mens-machine-interactie-ervaring, ondersteuning van IoT en cloud computing-architectuur.
Technische parameters
|
Model |
OPIE1550 |
|
|
Vacuüm kamer |
SUS304, φ1550mmx1600mm (H) |
|
|
Vacuüm systeem |
4 moleculaire pompen +1 set mechanische pomp/wortelpompeenheid |
|
|
Werkstukrek |
diameter werkstukschijf 1460 mm, toerental 0-30 rpm |
|
|
Stoombron |
2 sets elektronische pistolen (dubbele pistolen, dubbel scannen, dubbele gloeidraden, straalafwijkingshoek van 270-graden, vermogen 10 kW) |
|
|
Depositiesysteem |
RISE radiofrequentie-ionenbron + speciale plasmabron (optioneel) |
|
|
Controle systeem |
Intelligent controlesysteem voor vacuümafzetting |
|
|
Controlesysteem |
Het kristalfilmdiktebewakingssysteem |
geconfigureerd volgens specifieke vereisten, standaardconfiguratie |
|
Optisch dunne-film real-time monitoringsysteem |
zelf ontwikkeld optisch controlesysteem (breed spectrum, enkele golflengte) optioneel |
|
|
Diep koelsysteem |
compressorvermogen 10 kW, spoelkoeltemperatuur<-130°C |
|
Populaire tags: ionenbundel ondersteunde afzetting verdamping optische coater, China ionenbundel ondersteunde afzetting verdamping optische coater fabrikanten, fabriek
