Ionenbundel-etstechnologie is een ultrafijne verwerkingstechnologie die ontstond in de jaren 70 van de 20e eeuw met de ontwikkeling van vaste apparaten in de richting van sub-micron lijnbreedte, waarbij gebruik wordt gemaakt van het sputtereffect van ionenbundelbombardement op vaste oppervlakken om te strippen de vereiste geometrie op het verwerkte apparaat.
Vergeleken met machinale bewerking, chemische corrosie, plasmacorrosie, plasmasputteren en andere processen heeft ionenbundeletsen de volgende kenmerken:
(1) Het is niet-selectief voor de verwerkte materialen en elk materiaal, inclusief geleiders, halfgeleiders en isolatoren, kan worden geëtst.
(2) Het heeft een ultrafijn verwerkingsvermogen. Het is in staat zeer fijne groefpatronen te etsen, die zich in het micron- en submicronbereik bevinden, en kan zelfs lijnen graveren zo klein als 0.008 μm.
(3) Het etsen heeft een goede richtingsgevoeligheid en een hoge resolutie. Het monster wordt directioneel gebombardeerd door een gecollimeerde ionenbundel in een vacuüm, wat een directionele ets is die het onvermijdelijke boor- en etsverschijnsel bij chemische natte verwerking kan overwinnen, en de rand van het geëtste patroon is scherp en helder. Hoge resolutie. De nauwkeurigheid kan oplopen tot 0.1~0.01μm, en de oppervlakteruwheid is beter dan 0,05μm.
(4) Flexibele verwerkbaarheid en goede herhaalbaarheid. Omdat de bundeldichtheid, energie, invalshoek, bewegings- of rotatiesnelheid van de werkstuktafel en andere werkparameters van de ionenbundel onafhankelijk en nauwkeurig kunnen worden geregeld binnen een vrij breed bereik, is het eenvoudig om de optimale verwerkingsomstandigheden voor verschillende monsters te verkrijgen. , die niet alleen de helling van de zijwand van de lijn kan regelen, maar ook de diepte van de groef kan regelen om te veranderen volgens een bepaalde functie (de diepte van de groef die verandert volgens een bepaalde functie wordt diepteweging genoemd).
(5) Het nadeel van ionenbundeletsen is dat er een fenomeen van herafzetting (herafzettingseffect) van gesputterde materialen optreedt. Het moet in de praktijk aangepakt worden.